π ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π΄Π°ΠΉΠ΄ΠΆΠ΅ΡΡ. ΠΠΊΡΡΠ±ΡΡ.
π ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π΄Π°ΠΉΠ΄ΠΆΠ΅ΡΡ. ΠΠΊΡΡΠ±ΡΡ.
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Β«ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΒ», ΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ
π¬ 1. Π‘Π°ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΡΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΡΠ³ΠΎΠ½Π½ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΈ Π‘Π¨Π ΠΈ ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅Π³ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡ Π½Π° Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Ρ Π² Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² β Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π°Π»ΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ, Π½ΠΎ ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ?
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡ Π² ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΠΉΡΠΎΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ β ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ·Π³Π°.
π ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ: ΠΡΠ³ΠΎΠ½Π½ΡΠΊΠ°Ρ Π½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΡ
π» 2. Hyper NA EUV: ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ
ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ASML ΠΈ Carl Zeiss ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β Hyper NA EUV. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠ°Ρ .
Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, Π² ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 5 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ 5 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²: ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° β ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ.
ΠΠΎΠΊΠ° Hyper NA EUV ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΉ, Π° Π½Π΅ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΠ½Π½ΡΠΌ Reuters 8 ΠΎΠΊΡΡΠ±ΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π°Π½ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈ Π»Π΅Ρ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ?
Π§Π΅ΠΌ ΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠ°Ρ . ΠΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠΊΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ°. ΠΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ Π² ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
π ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ:
ΠΠ°ΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΈ Hyper-NA EUV
Reuters: ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
π ΠΡ ΡΠ΅Π΄Π°ΠΊΡΠΈΠΈ AER
ΠΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΈΡΡ Π·Π° Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎ ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ !
βΈ»
Advanced Engineering Research (Rostov-on-Don)
π© aer@donstu.ru
#ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉΠΠ°ΠΉΠ΄ΠΆΠ΅ΡΡ
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Β«ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΒ», ΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ
π¬ 1. Π‘Π°ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΡΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΡΠ³ΠΎΠ½Π½ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΈ Π‘Π¨Π ΠΈ ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅Π³ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡ Π½Π° Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Ρ Π² Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² β Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π°Π»ΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ, Π½ΠΎ ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ?
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡ Π² ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΠΉΡΠΎΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ β ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ·Π³Π°.
π ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ: ΠΡΠ³ΠΎΠ½Π½ΡΠΊΠ°Ρ Π½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΡ
π» 2. Hyper NA EUV: ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ
ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ASML ΠΈ Carl Zeiss ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β Hyper NA EUV. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠ°Ρ .
Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, Π² ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 5 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ 5 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²: ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° β ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ.
ΠΠΎΠΊΠ° Hyper NA EUV ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΉ, Π° Π½Π΅ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΠ½Π½ΡΠΌ Reuters 8 ΠΎΠΊΡΡΠ±ΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π°Π½ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈ Π»Π΅Ρ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ?
Π§Π΅ΠΌ ΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠ°Ρ . ΠΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠΊΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ°. ΠΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ Π² ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
π ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ:
ΠΠ°ΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΈ Hyper-NA EUV
Reuters: ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
π ΠΡ ΡΠ΅Π΄Π°ΠΊΡΠΈΠΈ AER
ΠΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΈΡΡ Π·Π° Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎ ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ !
βΈ»
Advanced Engineering Research (Rostov-on-Don)
π© aer@donstu.ru
#ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉΠΠ°ΠΉΠ΄ΠΆΠ΅ΡΡ