Ученые нижегородского Университета Лобачевского запатентовали способ…
Ученые нижегородского Университета Лобачевского запатентовали способ глубокой очистки нанопорошка диоксида кремния для микроэлектроники, а также разработали подход к комплексному управлению свойствами этих наночастиц
Изобретение относится к области очистки аморфного диоксида кремния и предназначено для использования в химико-механической полировке полупроводниковых пластин, а также в процессах, требующих высокочистых абразивных наноматериалов.
Учеными ННГУ им. Н. И. Лобачевского разработаны технологическая линия и регламент получения продукта, благодаря чему создана устойчивая суспензия, которая направлена на апробацию индустриальному партнеру. В условиях ограничений поставок сформировалась критическая потребность в разработке отечественных аналогов, сопоставимых по характеристикам с зарубежными продуктами.
Подробнее: https://tass.ru/nauka/28221171
Изобретение относится к области очистки аморфного диоксида кремния и предназначено для использования в химико-механической полировке полупроводниковых пластин, а также в процессах, требующих высокочистых абразивных наноматериалов.
Учеными ННГУ им. Н. И. Лобачевского разработаны технологическая линия и регламент получения продукта, благодаря чему создана устойчивая суспензия, которая направлена на апробацию индустриальному партнеру. В условиях ограничений поставок сформировалась критическая потребность в разработке отечественных аналогов, сопоставимых по характеристикам с зарубежными продуктами.
Подробнее: https://tass.ru/nauka/28221171